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文档序号:7441302

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一种生产多晶硅的方法,包括:将硅原料放入坩埚中,通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态;在达到1500℃的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣;将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭;切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂...
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