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碳化硅生产工艺制造技术
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文档序号:7438922
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本发明涉及一种利用废弃的碳化硅细粉进行碳化硅晶体加工工艺,包括在碳化硅反应炉内加入石英砂与焦炭的步骤以及在碳化硅冶炼前在碳化硅反应炉内加入由废弃碳化硅细粉制备成的碳化硅颗粒的步骤。本发明提供了一种能够防止喷炉或者爆炉并且碳化硅细粉利用率高、...
该专利属于朱胜利所有,仅供学习研究参考,未经过朱胜利授权不得商用。
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