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管（１）是采用一种方法由密度为３．１８－３．２１ｇ／ｃｍ＋［３］、最高杂质含量为２０ｐｐｍ，且对流体抗渗的多晶碳化硅制成，该方法包括利用化学气相合成的方法在一棒形石墨构件（Ｇ）的表面沉积所述碳化硅以及随后去除该石墨构件。通过使用这种管作为喷...
该专利属于川崎重工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过川崎重工业株式会社授权不得商用。

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