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一种基于SOI材料的还原性气体传感器，由IDT、氧化锌敏感薄膜、SOI压电基片组成，其制作步骤为：1)选择合适的SOI基体，并在基体上光刻出2个IDT的位置，然后用射频溅射的方式生成2个IDT。2)用sol-gel法在基体上生成氧化锌敏感薄...
该专利属于上海复莱信息技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海复莱信息技术有限公司授权不得商用。

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