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在烧结过程中具有受控的压缩的层状烧结微流体装置以及相关方法制造方法及图纸
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下载在烧结过程中具有受控的压缩的层状烧结微流体装置以及相关方法的技术资料
文档序号:7407239
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本发明描述了用来减少和/或控制微流体装置中的叠置层的压缩的方法的实施方式,所述方法包括对至少两个层进行叠置,所述叠置的层中的至少一个包括微结构。所述微结构包括流体通路,多个壁设置成在多个层之间限定间距A1,并且限定出大量间隔的充气支柱,所述...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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