下载一种高纯氪气和高纯氙气的充装系统的技术资料

文档序号:7406966

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本实用新型提供了一种高纯氪气和高纯氙气的充装系统,其中,包括冷冻机构;所述冷冻机构包括一个冷冻汽化瓶和一个冷冻装置;所述冷冻汽化瓶位于所述冷冻装置中;所述冷冻汽化瓶进口通过三通分别与纯氪/纯氙进气管道以及送气管道相通;所述送气管道上设有多根...
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