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新的化合物及其制造方法、含有该新的化合物的射线敏感性组合物以及固化膜技术
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下载新的化合物及其制造方法、含有该新的化合物的射线敏感性组合物以及固化膜的技术资料
文档序号:7404934
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一种化合物,其具有相同或不同的下述式(1’)所表示的多个基团。,式(1’)中,R1和R2各自独立地为碳原子数为1~6的烷基,n为1~6的整数。...
该专利属于JSR株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JSR株式会社授权不得商用。
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