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磊晶用基板及其制作方法技术
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文档序号:7395377
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一种磊晶用基板,包含一个顶面,及多个自该顶面向下延伸的晶面,其中,每n个晶面构成一角锥形的凹孔,n是不小于3的正整数,每一凹孔的其中一晶面与顶面的连接线至另一最相邻凹孔的最相邻晶面与顶面的连接线的间距不大于500nm,当使用本发明进行磊晶时...
该专利属于李德财所有,仅供学习研究参考,未经过李德财授权不得商用。
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