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本实用新型公开一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏，具体为一种用于半导体单晶生长的、带有内部水冷的直拉炉热屏，涉及半导体材料生长设备技术领域。本实用新型包括外热屏、保温碳毡、内热屏和保温桶上盖，外热屏、保温碳毡、内热屏为三层圆台形同轴结构，从外...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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