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一种样品气体配气装置，由样品气体配置气路、自动流量控制仪、计算机和计算机预装控制软件组成，其特征在于：样品气体配置气路置于一恒温装置中，由复数个质量流量控制器、三通电磁阀、气体导管和一混合气室以及相应的控制电路接口组成；质量流量控制器的输入...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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