下载一种定向凝固及渣滤熔炼提纯多晶硅的设备的技术资料

文档序号:7370725

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本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种定向凝固及渣滤熔炼提纯多晶硅的设备,设备由炉门及真空炉壁构成真空设备,真空设备的内腔即为真空室,真空室内安装熔炼装置和熔化装置,熔炼装置采用熔炼坩锅安装在拉锭机构上,熔炼坩锅外安装有加热...
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