下载电介体阻挡放电灯及使用其的紫外线照射装置的技术资料

文档序号:7366225

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提供一种半开放型的电介体阻挡放电灯(1),其用于照射真空紫外线,为了减少向放电管飞来的飞散物的附着及其固化,其具备放电管(1),在该放电管的内部封入有激元发光用的放电用气体,该放电管不具备前表面玻璃,且通过具有平坦的面的下壁板向下方照射真空...
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