下载改良的涡轮分子泵的定子结构及其制造方法的技术资料

文档序号:7361445

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本发明是有关于一种改良的涡轮分子泵的定子结构及其制造方法,该定子包含多级定子叶片组,每一级定子叶片组包含一内覆环、一外覆环及多个定子叶片,该内覆环、该外覆环及上述多个定子叶片为一体成型,借此增加整体刚性而不易变形;其制造方法包含以下步骤:将...
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