下载塌陷模式电容性传感器的技术资料

文档序号:7359811

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一种电容性传感器,配置用于塌陷模式,例如用于测量声音或压力,其中可移动元件被分割成较小部分。该电容性传感器提供了增大的信噪比。...
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