下载使用旋转源来沉积薄膜的方法和设备的技术资料

文档序号:7356774

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本公开总体上涉及一种用于将大致固体的薄膜沉积到基板上的方法和设备。该固体薄膜能够是有机发光二极管(“OLED”)。在一个实施例中,本公开涉及使用:材料供应源;旋转或移动机构,该旋转或移动机构具有至少一个转印表面,该至少一个转印表面沿着一个定...
该专利属于卡帝瓦公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡帝瓦公司授权不得商用。

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