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一种晶棒加工装卸专用机械手制造技术
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文档序号:7356121
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本实用新型公开了一种晶棒加工装卸专用机械手,用于硅棒搬运、反头等操作,其关键在于:包括底座、抓取机构、旋转机构、升降机构和移动机构;所述抓取机构包括钳形指爪、液压缸和箱体,所述旋转机构包括转动主轴、主轴减速机和主轴电机,所述升降机构包括导轨...
该专利属于河北宇晶电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北宇晶电子科技有限公司授权不得商用。
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