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基板电极结构的制造方法技术
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文档序号:7353319
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本发明提供一种基板电极结构的制造方法。上述基板电极结构的制造方法包括提供一基板,其上面具有一图案化金属层定义出一电极区域,其中一保护胶覆盖该图案化金属层,且一电极层形成在该电极区域内。实施一填补步骤以沉积一纳米氧化物于该电极层上,使其填满整...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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