下载四自由度精密定位装置的技术资料

文档序号:7353019

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本发明提出一种四自由度精密定位装置,用于将被驱动部件相对于基座进行调整和定位。四自由度精密定位装置包括支撑单元、驱动单元和调节单元。支撑单元包括与基座连接的支撑座和设置在支撑座上方并与支撑座连接的连接头,通过支撑座固定在基座上。驱动单元包括...
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