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一种纳米微结构的制造方法，包括：提供一基板；于该基板上形成多个纳米球；于该基板上及各该纳米球之间形成待蚀刻膜；移除各该纳米球；于该待蚀刻膜上形成阻层；进行湿蚀刻，以移除该待蚀刻膜及其下的部分基板材料，以于该基板表面形成多个凸块；以及移除该阻...
该专利属于和椿科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和椿科技股份有限公司授权不得商用。

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