下载一种浆料循环过滤装置及硅片切割设备的技术资料

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本实用新型公开了一种浆料循环过滤装置及硅片切割设备,所述浆料循环过滤装置设置于硅片切割设备上,包括相互套设在一起的网格状过滤内桶和具有孔洞的支撑外桶。所述硅片切割设备包括所述循环过滤装置。本实用新型的浆料循环过滤装置具有很强的耐压性、耐腐蚀...
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