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长晶炉的气流导引装置制造方法及图纸
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下载长晶炉的气流导引装置的技术资料
文档序号:7343703
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本发明长晶炉的气流导引装置,主要提供长晶炉一种能够有效降低杂质浓度,藉以提升晶体质量的气流导引装置;所述的气流导引装置包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层的排气孔;其中,输气管的管口处设有若干呈放...
该专利属于中央大学所有,仅供学习研究参考,未经过中央大学授权不得商用。
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