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一种热电偶，具有至少一个内对准部件或至少一个外对准部件或者它们的组合，用于在半导体衬底处理反应器的基座环内形成的孔内正向定位和对准至少一个热电偶结。外对准部件被配置为在孔内纵向地正向对准热电偶结。内对准部件被配置为相对于孔在热电偶的护套内旋...
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