温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置，激光光束经微机械二维扫描镜扫描后，照射到半透半返镜上，半透半返镜光束透过照射到物体上，剩下的光被反射到PSD探测器上，PSD探测器探测到激光后输出两路模拟电压信号，PSD输出的...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。