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本发明公开了一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法,通过对磁悬浮分子泵转子跌落后产生的转子次临界振动信号进行同步采样获得转子次临界振动的幅值、频率和相位,并据此输出补偿力抑制转子次临界振动。该方法实现了对次临界振动信号的准确同步,可快...该专利属于北京中科科仪技术发展有限责任公司;清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科科仪技术发展有限责任公司;清华大学授权不得商用。