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文档序号:7299645
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一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器,所述微力学传感器具有一个衬底(5)以及至少一个设置在衬底(5)上并且可以相对于衬底(5)移动的质量块(6)。质量块(6)与衬底(5)和/或两个相向移动的质量块可以...
该专利属于感应动力股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过感应动力股份公司授权不得商用。
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