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本发明提供一种多晶片的检查方法，其具有：从以光轴通过多晶片(1)上的照射位置(P1)的方式被配置的光源(2)，向照射位置(P1)照射红外线(3)的工序；使用用于对拍摄位置(P2)进行拍摄的照相机(6)，对从照射位置(P1)入射并被多晶片(1...
该专利属于洛塞夫科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛塞夫科技股份有限公司授权不得商用。

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