温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电...
该专利属于NXP股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过NXP股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。