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本发明涉及一种用于微器件真空度测量的标定盒，其内设有用于放置微器件的微器件管壳，所述微器件管壳上设有真空传感器，该标定盒包括盒体和上盖，所述上盖上设有用于测量标定盒内真空度的真空测量规，所述盒体上设有与外部真空泵连接的真空抽气管、用于调节标...
该专利属于烟台睿创微纳技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台睿创微纳技术有限公司授权不得商用。

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