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一种金属薄膜微米尺度热电偶器件制造技术
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文档序号:7279627
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本发明提供一种金属薄膜微米尺度热电偶器件,该热电偶器件包括绝缘基片,在绝缘基片上附着有一金属薄膜热电偶或多个金属薄膜热电偶构成的热电偶阵列,其中金属薄膜热电偶为单种金属的两条对折薄膜,其中,窄条带的宽度小于20微米,另一条宽条带的宽度大于1...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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