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本发明提供能在掩模的图案中形成忠实且析像度高的图案的光照射装置和光照射方法。本发明的光照射装置，其特征在于：具备：光射出部，所述光射出部具有将多个光源元件在一个方向上并排地配置而构成的光源元件列，所述光源元件由短弧型放电灯、和以包围该放电灯...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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