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本发明公开了一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，包含有一框架、一质量块以及多个连接于该框架与该质量块之间的弹性支撑臂，使该质量块可悬置于该框架中，此外，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。通过此，该质量块除了本身可...
该专利属于利顺精密科技股份有限公司;冈田和广所有，仅供学习研究参考，未经过利顺精密科技股份有限公司;冈田和广授权不得商用。

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