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高纯磷烷的净化和分析制造技术
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文档序号:7271576
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高纯磷烷研制的工艺过程分为两步,第一步为磷烷气体的生成,即用起始原料亚磷酸生产出约2N纯度的磷烷;第二步是采用低温真空分离、吸附干燥、精馏和镓-铟合金或催化剂深吸附脱水、氧。最后纯度为5N5。过滤除颗粒(常见金属)以及高纯气体灌装,生产出适...
该专利属于武峰所有,仅供学习研究参考,未经过武峰授权不得商用。
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