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一种制备失效分析样品的方法，包括：提供样品，所述样品包括待分析结构，所述样品具有第一表面，所述第一表面暴露出待分析结构；在所述第一表面上形成第一预定厚度的重金属层；在形成第一预定厚度的重金属层后，将所述样品一分为二，选择其中之一作为待分析样...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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