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本发明揭示一种将图案扫描至表面上的方法，该方法包括：形成包含用于写入表面上的图案的第一空间调制光束；将该第一空间调制光束分裂为多个子光束；改变该多个子光束之间的空间关系，由此形成第二空间调制光束；及用该第二空间调制光束扫描该表面。...
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