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本发明专利申请提供的改善贮存时间Ts一致性的功率晶体管制造方法，其方法中的高温退火在退火时间内经两步骤完成：先在纯氮气的氛围升温至退火温度，在该退火温度保持30分钟-50分钟，其后掺入氧气，在氮气与氧气混合氛围中在剩余退火时间中退火推结，形...
该专利属于丹东安顺微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丹东安顺微电子有限公司授权不得商用。

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