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本发明公开了一种乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂及其制备方法。乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂的形态为胶囊，所述的胶囊包括囊芯和包衣，所述囊芯的组分包括单氟磷酸钠、微晶纤维素和吐温80，所述包衣的材料是乙基纤维素水分散体。本发明用乙基纤维素水分散体...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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