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一种工模具表面耐磨涂层的制备方法技术
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文档序号:7235217
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本发明公开一种工模具表面耐磨涂层的制备方法,涂层材料为高纯度的Ti、Cr金属和N2、Ar,在非平衡磁控溅射离子镀设备内,在电磁场和等离子场的作用下,Ti、Cr、Ar和N2电离成离子,在电场作用下在工模具表面反应生成TiN/Cr的复合膜;Ti...
该专利属于西华大学所有,仅供学习研究参考,未经过西华大学授权不得商用。
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