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微粒检测装置及光照射装置制造方法及图纸
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下载微粒检测装置及光照射装置的技术资料
文档序号:7223417
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本发明公开了微粒检测装置及光照射装置。一种微粒检测装置包括使从光源发出的光透过相位差元件并将该光聚焦到微粒流过的样本流上的光照射系统。当样本流的送流方向为X轴方向,光对样本流的照射方向为Z轴方向,ZX平面垂直于Y轴方向时,则相位差元件具有在...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。
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