下载荫罩母板精密自动对准系统及其方法的技术资料

文档序号:7221837

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本发明涉及显示器器件制造的技术领域,提出一种采用衍射叠栅信号技术实现荫罩母板的精密自动对准系统和方法。采用差动叠栅信号技术检测位置偏差,可有效检测两块玻璃母板的相对位置偏差,并确保较高的检测精度。对准系统取透射的0次差动叠栅信号为控制信号,...
该专利属于南京师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京师范大学授权不得商用。

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