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一种AlZnO紫外光电阴极材料及其紫外真空光电管制造技术
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文档序号:7219276
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一种AlZnO紫外光电阴极材料及其紫外真空光电管,属于电子材料与元器件技术领域。所述AlZnO紫外光电阴极材料,包括衬底基片、沉积于衬底基片表面的金属底电极和沉积于衬底金属底电极表面的AlZnO合金薄膜;所述AlZnO合金薄膜的化学式为Al...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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