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本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间...
该专利属于罗伯特.博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特.博世有限公司授权不得商用。

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