下载一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟的技术资料

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本实用新型公开了一种用于自动上料机插入硅片工序的石英舟,包括两个支撑框架和连接设置在两个支撑框架之间的四根石英棒,所述四根石英棒包括两根上部石英棒和两根底部石英棒,其中,两根对称设置的所述上部石英棒的相对的内侧面上均匀开设有多个垂直于所述上...
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