温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于生产直拉重掺磷单晶的防爆装置及防爆方法。本防爆装置包括空气净化器、气体流量阀、气体流量计、环形管道、数个的分支管道及连接管道，所述空气净化器、气体流量阀及气体流量计通过连接管道连接，连接管道的一端与环形管道相通连接，每个分...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。