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本实用新型公开了一种多腔气体分布器，包括设置有进气口的环行气体分配装置，及设置在其内侧呈扇形均匀分布的多个腔体分布单元。包括设置有进气口的辐射气体分配装置，及设置在其轴心的呈扇形向周边辐射的多个腔体分布单元。本实用新型与现有技术相比的有益之...
该专利属于天津大学北洋化工设备开发中心所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学北洋化工设备开发中心授权不得商用。

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