下载探针组合体的技术资料

文档序号:7204722

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本发明提供一种无需缩小狭缝杆的狭缝的间距就能够以窄间距配置探针的探针组合体。在探针组合体中,具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝的第1狭缝杆配置在支承片的顶端部下侧,具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝的第2狭缝...
该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。

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