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本申请提供了一种用于分析流体样品的传感器装置，其中该传感器装置包括包含至少三个感测层的堆叠感测配置和多层结构，其中多层结构具有形成在其中的适于让流体样品通过的孔，并且其中堆叠感测配置以在流体样品通过孔时流体样品通过堆叠感测配置的方式形成在多...
该专利属于NXP股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过NXP股份有限公司授权不得商用。

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