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本发明公开了一种用于测量表面未对准和角度未对准的设备。通过第一衍射光栅，相对于第一表面的光轴的波前传播角度不同的两个圆锥形通量被施加到第一表面。通过第二衍射光栅，相对于第二表面的光轴的波前传播角度不同的两个圆锥形通量被施加到第二表面。分析由...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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