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一种具有大磁电阻效应的p-Si基异质结构的制备方法技术
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下载一种具有大磁电阻效应的p-Si基异质结构的制备方法的技术资料
文档序号:7176036
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一种具有大磁电阻效应的p-Si基异质结构的制备方法本专利操作,步骤如下:1)在对向靶磁控溅射镀膜机的靶头上安装一对石墨靶并均匀固定Ni片;2)将带有自然氧化层的p型Si片的玻璃基底表面杂质清除后,安装在样品架上;3)开启磁控溅射镀膜机抽真空...
该专利属于天津理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津理工大学授权不得商用。
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