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本发明涉及用于沉积钌的组合物和方法。将包含四氧化钌RuO4的组合物用作前体溶液608，以通过ALD、等离子体增强沉积和/或CVD来涂覆基片400。可使用定期的等离子致密化。...
该专利属于威科仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科仪器有限公司授权不得商用。

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