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本发明涉及一种用于通过液体射流引导激光工艺使含硅固体同时微结构化和钝化方法。通过激光实现固体表面的局部加热，同时在液体射流中包含用于钝化固体表面的前驱体。本发明还涉及一种用于同时微结构化和钝化的装置。该方法尤其用在太阳能电池的生产中。...
该专利属于弗劳恩霍弗应用技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍弗应用技术研究院授权不得商用。

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